Technologien der Mikrosysteme

Name: Technologien der Mikrosysteme
Brand: Springer Fachmedien Wiesbaden
SKU: 9783658374976
Price: 5950 KES
Availability: OutOfStock
ISBN: 9783658374976

1. Aufl. 2022

by Ha Duong Ngo

Book Details

Format Paperback / softback

ISBN-10 3658374977

ISBN-13 9783658374976

Edition 1. Aufl. 2022

Publisher Springer Fachmedien Wiesbaden

Imprint Springer Vieweg

Country of Manufacture GB

Country of Publication GB

Publication Date Jan 2nd, 2023

Print length 246 Pages

Weight 436 grams

Dimensions 16.80 x 23.90 x 2.00 cms

Product Classification: Physical chemistry Mechanical engineering Electronics engineering Circuits & components Electronics: circuits and components

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Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding).

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

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