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Technologien der Mikrosysteme
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Technologien der Mikrosysteme

1. Aufl. 2022

Book Details

Format Paperback / Softback
ISBN-10 3658374977
ISBN-13 9783658374976
Edition 1. Aufl. 2022
Publisher Springer Fachmedien Wiesbaden
Imprint Springer Vieweg
Country of Manufacture GB
Country of Publication GB
Publication Date Jan 2nd, 2023
Print length 246 Pages
Weight 436 grams
Dimensions 16.80 x 23.90 x 2.00 cms
Ksh 5,950.00
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Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding).
Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

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